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易福門傳感器于半導體行業清潔實驗室中大展拳腳
--本文來源:易福門電子(上海)有限公司
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PMD技術公司今年搬入了SUMMIT的新辦公樓,實驗室的清潔間需要繼續提升運行效率。為此,各種各樣的易福門傳感器購置到位,協助公司為3D視覺和測距傳感器的研發和測試提供最新的技術標準。

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易福門傳感器安裝于清潔實驗室的中央控制單元

其中氣體壓力傳感器PQ3834(針對壓縮氣體)和PQ3809(針對真空),用于實現壓力信號的實時在線變化測量和監控。

ACCRETECH(原TSK,東京精密株式會社Tokyo Seimitsu )是半導體加工和精密測量儀器設備的全球著名制造商。該公司生產世界頂級半導體的探針床,其功能是對晶圓上形成的所有芯片進行電氣特性自動化測試,使用這臺設備可以對芯片的合格品與不良品進行篩選。另外,在ESMO(宜世摩)自動抓取和放置晶圓的機械手運行中也有氣動系統。這兩臺設備都需要壓力監控。

此外,壓縮空氣流量計SD6050用于評估在系統運行時段內的空氣總消耗量和泄漏情況,從而實現監控壓縮空氣系統以及真空泵的性能。

IO-Link助力人機界面監控

通過AL1940 最新的IO-Link 控制模塊和具有尖端技術的netPi控制器,數據能夠清晰明了的通過Y-path和節點傳輸到電腦端界面,配合Node-RED,以網頁瀏覽的方式展示不同的情況或者給出報警、非正常信號。該信號能夠以各種渠道發出,例如email。另外,在控制器內的netPI可以實現數據采集,如采集帶有時間節點的累積消耗流量,以CSV的格式發送到FTP服務器。

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數據采集視圖

Node-RED是基于數據流驅動的編程理念,它能夠方便的實現更加美觀、清晰的視覺顯示效果和編程(通過JavaScript),從而為沒有編程基礎的非專業工程人員在合理時間內實現復雜IoT應用提供了可能性。

以上圖片顯示的架構和綜合參數給我們展示了一個系統集成解決方案的典型案例。這是一個在易福門SUMMIT辦公樓里已經實現、正在運行以及基于工業4.0的數字智能傳感器提升運營效率的鮮活例子。


 
 
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